图书介绍
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- 宗祥福，李川主编 著
- 出版社： 上海：复旦大学出版社
- ISBN：7309040252
- 出版时间：2004
- 标注页数：223页
- 文件大小：12MB
- 文件页数：230页
- 主题词：电子材料－实验
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图书目录
录1
CONTENTS1
实验一四探针法测量电阻率1
目1
实验二扩展电阻法测量硅片微区电阻率变化及其深度分布17
实验三范德堡－霍耳效应实验25
实验四硅单晶杂质补偿度的测量39
实验十四 透射电子显微术 143
实验五MOS电容－电压特性测量48
实验六用准静态技术测量硅－二氧化硅界面态密度分布56
实验七深能级瞬态谱法（DLTS）测定硅中深能级中心66
实验八砷化镓的光致发光（PL）谱75
实验九激光测定硅单晶晶轴86
实验十椭偏法测量薄膜折射率及厚度93
实验十一扫描电子显微镜104
实验十二半导体集成电路的解剖分析121
实验十三扫描电镜X射线能谱分析130
实验十五傅里叶变换红外光谱法（FTIR）测定硅中杂质氧的含量146
实验十六原子吸收光谱分析152
实验十七X射线光电子能谱分析167
实验十八低压化学气相淀积多晶硅177
实验十九用SiH4-NH3淀积氮化硅186
实验二十等离子增强化学气相淀积氧化硅190
实验二十一金属有机化学气相淀积（MOCVD）钛酸铅195
实验二十二多孔硅材料的制备204
实验二十三通用有限元软件ANSYS推焊球应力分析210
实验二十四集成电路CAD基础217