微制造 微型产品的设计与制造PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载

微制造 微型产品的设计与制造PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第一章 微制造基础1

1.1引言1

1.2微成形（微尺度变形加工）3

1.2.1微成形加工中的尺寸效应4

1.2.2微尺度变形数值仿真7

1.3分立零件微制造的机械微加工8

1.3.1机械微加工中的尺寸效应11

参考文献14

第二章 半导体工业中的微制造工艺19

2.1引言19

2.2半导体衬底19

2.2.1硅19

2.2.2硅片制造20

2.2.3硅的氧化21

2.2.4碳化硅（SiC）与砷化镓（GaAs）22

2.3化学气相沉积（CVD）22

2.3.1CVD的类型23

2.3.2CVD生长的优缺点24

2.4光刻技术25

2.5物理气相沉积（PVD）26

2.6干法刻蚀技术28

2.7湿法体材料微加工29

2.8总结30

参考文献30

第三章 微尺度建模与分析31

3.1引言31

3.2微尺度下连续介质模型局限性32

3.3修正的连续介质模型34

3.4分子动力学模拟及其局限性35

3.5微尺度模拟方法实例及其相互比较36

3.5.1均匀摩擦下多晶体各向异性有限元法36

3.5.2利用第一性原理计算电子态获得原子间势对摩擦界面进行分子动力学模拟41

3.5.3晶体塑性有限元与分子动力学结合（注射—镦粗）45

3.6总结、结论以及待研究的问题50

参考文献51

第四章 微尺度测量、检测与加工控制52

4.1引言52

4.2空间检测53

4.2.1光学方法53

4.3数字全息成像显微系统59

4.3.1扫描式电子显微镜60

4.4微坐标测量机——μCMM61

4.5扫描式探针显微镜62

4.5.1微计算机X射线照相术63

4.5.2扫描声学显微镜64

4.5.3微机械部件的测温65

4.6机械特性的测量66

4.6.1拉曼光谱法66

4.6.2弯曲测试67

4.6.3拉伸测试67

4.6.4界面特性68

参考文献68

第五章 分层微制造73

5.1引言73

5.1.1历史74

5.1.2加工步骤75

5.1.3分层制造的优势80

5.2分层制造工艺81

5.2.1分类81

5.2.2工艺细节81

5.3材料和分层制造加工能力100

5.3.1材料100

5.3.2分层制造加工能力102

5.4分层制造技术的应用105

5.4.1快速成型105

5.4.2快速模具106

5.4.3快速/直接制造109

5.5发展趋势112

参考文献114

第六章 激光微加工125

6.1引言125

6.2激光辐射、吸收和热效应127

6.3激光加工材料129

6.3.1激光加工金属和合金129

6.3.2激光加工处理聚合物和复合材料130

6.3.3激光加工处理玻璃和硅130

6.3.4激光加工陶瓷与硅130

6.4激光加工工艺参数131

6.4.1激光光斑尺寸和光束质量131

6.4.2峰值功率131

6.4.3脉冲持续时间132

6.4.4脉冲重复率132

6.5超短脉冲激光烧蚀133

6.5.1双温传热133

6.5.2表面的电子发射和库仑爆炸135

6.5.3电子发射形成早期等离子体136

6.5.4流体动力学膨胀137

6.6纳秒脉冲激光烧蚀140

6.6.1烧蚀机理140

6.6.2双脉冲激光烧蚀142

6.6.3纳秒激光诱导等离子体143

6.7激光冲击强化145

6.7.1激光冲击强化加工145

6.7.2激光冲击强化物理学146

6.7.3LSP对材料机械特性的影响149

6.7.4LSP的优势、劣势和应用150

参考文献151

第七章 聚合物微成型/成形工艺157

7.1引言157

7.2微模具成型用聚合物材料159

7.3微模具成型工艺分类160

7.4微模具成型加工普遍动力学163

7.5微注射模具成型166

7.5.1微注射成型设备167

7.5.2注射模具快速热循环168

7.5.3微注射模具成型工艺策略169

7.6热模压170

7.6.1高效热循环171

7.6.2恒温模压成型173

7.6.3贯穿厚度压印173

7.6.4壳体图案模压174

7.6.5模压成形压力实现176

7.7微模具制造177

7.8结论与正在进行的研究178

参考文献181

第八章 机械微制造186

8.1引言186

8.2微尺度下材料去除187

8.2.1尺寸效应187

8.2.2极限切削厚度188

8.2.3微结构和晶粒尺寸影响189

8.3刀具几何、磨损与变形190

8.3.1微型刀具几何形状与涂层191

8.3.2微切削刀具磨损机理193

8.3.3动态载荷下刀具刚度和变形194

8.4微车削196

8.4.1作为刀具材料的金刚石196

8.4.2金刚石微切削197

8.5微端铣198

8.5.1微型铣刀199

8.5.2微铣削力学200

8.5.3微铣削数值分析201

8.5.4微铣削动态特性204

8.5.5微端铣工艺规划204

8.6微钻削207

8.7微磨削208

8.8微机床210

参考文献211

第九章 微成形217

9.1引言217

9.2微锻造222

9.3微压印/模压223

9.4微挤压225

9.5微弯曲227

9.6微冲压成形228

9.7微拉深成形228

9.8微液压成形231

9.9微成形应用设备和系统232

9.10总结与未来工作233

参考文献234

第十章 微细电火花加工（μ-EDM）236

10.1引言236

10.2微细电火花加工工艺237

10.2.1微细电火花加工的物理原理237

10.2.2脉冲发生器/电源238

10.2.3微细电火花加工的变型242

10.3微细电火花加工工艺的参数控制246

10.3.1电参数246

10.3.2材料的性能参数248

10.3.3机械运动控制参数249

10.4微细电火花加工性能测试251

10.4.1材料去除率251

10.4.2工具电极损耗率251

10.4.3表面质量251

10.4.4电火花间隙/切缝宽度、间隙宽度252

10.4.5微细电火花加工小型化的公差和限制252

10.5微细电火花加工工艺应用与实例253

10.5.1在线电极制备253

10.5.2利用微细电火花加工刀具254

10.5.3制造用于钻孔的微型钻头（孔的尺寸与钻头相同）256

10.5.4重复的模式转移批量处理257

10.5.5成型加工微型腔和微型结构260

10.5.6微细电火花铣削制造三维微特征和微模具261

10.5.7微细电火花铣削精细特征262

10.5.8大深径比微孔和喷嘴制造262

10.5.9微细电火花加工的其他创新应用263

10.6微细电火花加工最近的发展和研究264

10.6.1LIGA和微细电火花加工264

10.6.2微细电火花加工和微磨削265

10.6.3微细电火花加工和微细电解加工265

10.6.4微细电火花加工和微超声波加工266

10.6.5振动辅助微细电火花加工267

10.6.6混粉微细电火花加工268

10.6.7微细电化学放电加工269

10.7总结270

参考文献270

第十一章 微尺度金属粉末注射成型技术275

11.1金属注射成型技术介绍275

11.2微金属注射成型技术276

11.3原料准备277

11.3.1粉末277

11.3.2黏结剂278

11.3.3原材料的混炼279

11.4注射成型281

11.4.1微金属粉末注射成型技术的设备及工艺参数281

11.4.2微金属粉末注射成型技术的模具镶块282

11.4.3微金属粉末注射成型技术的变模温283

11.5脱脂285

11.6烧结286

11.6.1微结构的烧结287

11.6.2微齿轮的烧结288

11.7结束语289

参考文献289

主题词索引296