精密刻划与超精密特种加工技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载

精密刻划与超精密特种加工技术PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章　精密刻划技术与超精密加工技术1

1.1　精密刻划技术1

1.1.1 精密刻划技术1

1.1.2　精密刻划技术的任务1

1.2　分划零件的类型与用途1

1.2.1 分划元件2

1.2.2　分划元件的类型与用途2

1.3　分划元件的设计4

1.3.1　分划设计中的长度单位和角度单位4

1.3.2　分划板的设计5

1.3.3 分划元件毛坯材料的选择与加工分划技术条件的确定6

1.4　分划的制作方法9

1.4.1 以机械法为主结合化学或物理的方法制取分划10

1.4.2 以照相法为主结合化学或物理的方法制取分划11

1.4.3　机械照相法（光刻法）制取分划12

1.5　超精密加工技术概述13

1.5.1　超精密加工的范畴13

1.5.2　超精密加工方法13

1.5.3　超精密加工技术的作用16

1.5.4　超精密加工技术的发展状况与趋势19

第2章　刻划设备27

2.1　缩仿刻线机27

2.1.1　缩仿刻线机的工作原理27

2.1.2　多轴缩仿刻线机29

2.1.3　单轴缩仿刻线机30

2.2　长刻线机31

2.2.1　机械定位长刻线机32

2.2.2　激光定位光栅刻划机36

2.3　圆刻线机39

2.3.1　普通圆刻线机40

2.3.2　光电圆刻线机44

2.4　衍射光栅刻划机46

2.4.1　普通平面刻划机47

2.4.2 光电干涉控制平面刻划机49

第3章　机械刻划工艺51

3.1　刻划保护层51

3.1.1 对刻划保护层的性能要求51

3.1.2　刻划保护层的分类及成分52

3.2　机械化学法57

3.2.1　清洗玻璃零件58

3.2.2　涂布刻划保护层59

3.2.3 浮刻60

3.2.4　腐蚀刻线61

3.2.5　填充着色67

3.3　机械物理法70

3.3.1　涂布刻划保护层70

3.3.2　浮刻与修饰70

3.3.3　真空镀金属膜71

3.4　镀金属层刻划71

3.4.1　对金属镀层的要求71

3.4.2　常用的金属镀层72

3.4.3 刻划腐蚀法制造透明分划72

3.5　各类分划零件的机械刻划73

3.5.1 分划板的刻划73

3.5.2　光学度盘的刻划80

3.5.3　光学刻尺的刻划82

3.5.4　螺旋线分划板的刻划83

3.5.5　球面分划板的刻划85

3.5.6 多圈法刻划圆光栅87

3.6　物理光栅的刻划与复制89

3.6.1　物理光栅的刻划89

3.6.2　衍射光栅的复制91

第4章　照相制作分划零件94

4.1　照相制作分划零件的基本知识94

4.1.1 感光材料94

4.1.2　照相常用术语96

4.1.3 卤化银显影液与定影液98

4.2　卤化银照相制版102

4.2.1 分划底图的制作102

4.2.2　制版照相机原理与结构104

4.2.3　火棉胶湿版照相106

4.2.4　火棉胶干版照相114

4.2.5　超微粒干版照相118

4.3　照相复制123

4.3.1　铬盐感光胶照相复制123

4.3.2　光刻胶照相复制130

第5章　光刻技术138

5.1　概述138

5.2　计量光栅的光刻139

5.2.1 长光栅的刻制139

5.2.2 圆光栅的刻制141

5.3　光学码盘的光刻145

5.3.1 光学码盘145

5.3.2　码盘的光刻工艺149

5.4　感应同步器模版的光刻153

5.5　全息光栅的制作154

5.6　激光直写技术155

5.6.1 直角坐标激光直写系统156

5.6.2　极坐标激光直写系统156

5.6.3 直角坐标与极坐标组合的激光直写系统157

5.6.4　激光直写制作掩模版和元件158

5.7　光刻制作微光学元件159

5.7.1　二元光学元件的制作159

5.7.2　光刻热熔法制作折射微透镜阵列160

第6章　分划零件的检验163

6.1　分划的技术要求163

6.1.1　普通分划板的技术要求163

6.1.2　分辨率分划板的技术要求167

6.1.3 可见光方块栅栏形分辨率分划板的技术要求167

6.2　长分划零件的检验170

6.2.1　一般精度长分划零件的检验170

6.2.2 高精度长分划零件的检验173

6.3　圆分划零件的检验176

6.3.1　评价圆分划零件精度的参数176

6.3.2 圆分划零件精度检验的方法178

6.3.3 多面体比较法检定度盘直径误差179

6.3.4　单常角法检定度盘直径误差182

6.3.5　光电常角比相法检测圆光栅192

6.3.6 六十进制光电圆分度检验仪198

6.4　特殊分划零件的检验199

6.4.1 菱形分划零件的检验199

6.4.2　螺旋分划板的检验200

6.4.3　球面分划板的检验202

第7章　超精密特种加工技术205

7.1　概述205

7.1.1　超精密特种加工技术的特点205

7.1.2　超精密特种加工的适用范围205

7.1.3　超精密特种加工技术的内容205

7.2　激光加工206

7.2.1　激光加工原理206

7.2.2　激光加工的特点207

7.2.3　激光加工设备的组成207

7.2.4　激光微细加工技术与应用实例209

7.3　电子束微细加工217

7.3.1 电子束加工原理217

7.3.2 电子束加工的特点与应用范围218

7.3.3 电子束加工装置的组成219

7.3.4 电子束微细加工应用技术220

7.4　离子束微细加工224

7.4.1 离子束微细加工原理224

7.4.2 离子束微细加工的特点224

7.4.3 离子束微细加工设备224

7.4.4 离子束加工的应用225

7.5　微细电火花加工228

7.5.1 概述228

7.5.2　微细电火花加工的特点228

7.5.3　微细电火花加工的工艺和设备技术228

7.5.4　微细电火花加工的应用233

7.6　超声波微细加工234

7.6.1 超声加工原理234

7.6.2　超声微细加工的特点234

7.6.3　超声波加工机床组成234

7.6.4　超声微细复合加工236

7.7　电化学加工240

7.7.1 电解抛光241

7.7.2 电化学机械复合加工245

7.8　磁力研磨加工和磁力电解研磨加工248

7.8.1　磁力研磨加工248

7.8.2　磁力电解研磨加工252

7.9　等离子体加工252

7.9.1 等离子体253

7.9.2　等离子弧加工253

7.9.3　等离子体辅助抛光254

7.10　基于微机器人的超精密加工技术255

7.10.1　概述255

7.10.2　微机器人超精密加工的类型及应用255

参考文献258