图书介绍
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- 姜岩峰编著 著
- 出版社： 北京：化学工业出版社
- ISBN：7502581588
- 出版时间：2006
- 标注页数：194页
- 文件大小：30MB
- 文件页数：202页
- 主题词：微电子技术－电子机械－机械系统
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图书目录
目录1
第1章 MEMS系统简介1
1.1 MEMS技术现状及前景1
1.1.1 MEMS的基本概念与发展历史1
1.1.2 MEMS的应用5
1.1.3 MEMS技术和器件的研究进展7
1.2 MEMS器件及系统的研究进展9
1.3 MEMS技术的应用前景12
第2章 微机电系统（MEMS）相关力学知识及测量力学量的方法14
2.1 弹性力学基础知识14
2.2.1 简介19
2.2 微结构机械参数测量方法19
2.2.2 在线监测薄膜机械参数的方法列举20
2.2.3 微机械材料特性检测22
参考文献40
第3章 微机电系统（MEMS）主要工艺43
3.1 体硅加工工艺43
3.1.1 腐蚀工艺44
3.1.2 湿法腐蚀45
3.1.3 干法腐蚀49
3.2 硅片键合工艺51
3.2.1 简介51
3.2.2 硅熔融键合（SFB）52
3.2.3 阳极键合58
5.5.4 磁致伸缩微执行器 161
3.2.4 低温键合64
3.2.5 键合工艺应用举例65
3.3 LIGA技术70
3.3.1 LIGA技术基本原理70
3.3.2 活动结构制作原理71
3.3.3 复杂的三维结构的制作原理72
3.3.4 技术要求73
3.3.5 LIGA技术研究现状74
3.3.6 准LIGA技术75
3.3.7 LIGA技术在工程中的应用77
参考文献80
第4章 传感器部分82
4.1 传感器的分类、构成与发展动向82
4.1.1 基本概念82
4.1.2 传感器的分类82
4.1.3 传感器的构成83
4.2 传感器材料84
4.2.1 传感器敏感材料84
4.2.2 仿生材料86
4.3.1 加速度微传感器88
4.3 硅电容式微传感器88
4.3.2 压力微传感器91
4.4 静电激振法92
4.4.1 工作原理92
4.4.2 谐振式传感器93
4.4.3 热激励谐振式传感器94
4.4.4 光激谐振式传感器95
4.4.5 静电激励谐振式传感器97
4.5 声表面波传感器99
4.5.1 SAW传感器100
4.5.2 声表面波器件内连技术101
4.5.3 典型SAW传感器104
4.6 薄膜传感器107
4.6.1 薄膜107
4.6.2 膜片108
4.6.4 导热测试109
4.6.3 “扯带”试验109
4.6.5 金属薄膜电阻113
4.6.6 薄膜磁阻元件114
4.6.7 铁电薄膜元件116
4.7 隧道传感器118
4.7.1 隧道加速度计119
4.7.2 微机械电子隧道红外探测器120
4.7.3 微机械电子隧道磁强计121
4.7.4 隧道传感器的发展方向122
4.8 生物传感器122
4.8.1 生物化学传感器123
4.8.2 生物芯片128
5.1 用于通信领域的MEMS器件130
5.1.1 RF MEMS的概念130
第5章 MEMS器件的应用130
5.1.2 用于通信领域中的MEMS器件简介131
5.2 用于生化医学领域的MEMS器件135
5.2.1 医疗领域MEMS的发展趋势135
5.2.2 生化领域MEMS的发展趋势137
5.2.3 MEMS气敏传感器137
5.2.4 生物微机电系统139
5.3 用于光通信领域的MEMS器件143
5.3.1 MEMS器件在光通信领域中的应用概述143
5.3.2 光开关的工作原理144
5.3.3 MEMS光开关分类147
5.4 用于惯性测量用的MEMS器件149
5.4.1 加速度计149
5.4.2 陀螺仪155
5.5 几种MEMS微执行器156
5.5.1 MEMS微执行器简介156
5.5.2 静电式微执行器157
5.5.3 压电微执行器159
5.5.5 电磁微执行器162
5.5.6 形状记忆合金（SMA）微执行器163
5.5.7 热执行器164
5.5.8 电子流变式微执行器165
参考文献166
6.1 概述167
第6章 MEMS器件的仿真和计算机辅助设计167
6.1.1 器件级仿真168
6.1.2 加工及装配过程仿真169
6.1.3 系统级仿真170
6.1.4 相关技术展望171
6.2 硅各向异性腐蚀工艺模拟172
6.2.1 简介172
6.2.2 硅各向异性腐蚀模型173
6.2.3 硅各向异性腐蚀模拟软件175
6.2.4 硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型176
6.2.5 各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型”181
6.2.6 各向异性腐蚀模拟算法186
6.2.7 各向异性腐蚀工艺模拟软件结构191
参考文献194