高等学校教材 微纳米科学技术导论PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载

高等学校教材 微纳米科学技术导论PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章　概论1

1.1 微／纳米科学技术的定义与内涵1

1.2　微／纳米科学技术的发展2

1.3　微／纳米科学技术在国民经济中的意义4

习题5

参考文献5

第2章　扫描探针显微镜6

2.1　扫描隧道显微镜6

2.1.1 扫描隧道显微镜发明前的微观形貌检测技术6

2.1.2　扫描隧道显微镜的发明8

2.1.3　扫描隧道显微镜的工作原理9

2.1.4　扫描隧道显微镜的工作模式9

2.1.5　扫描隧道显微镜的工作环境10

2.1.6 扫描隧道显微镜的针尖制作技术13

2.2　原子力显微镜16

2.2.1　原子力显微镜的基本原理16

2.2.2　原子力显微镜微悬臂偏转的检测方法17

2.2.3　原子力显微镜的微悬臂及针尖18

2.3　其他形式的探针显微镜20

习题21

参考文献21

第3章　分子操纵技术22

3.1 扫描隧道显微镜单原子操纵技术22

3.1.1　单原子的移动23

3.1.2　单原子的提取26

3.1.3　单原子的放置28

3.1.4　单原子操纵小结30

3.2　原子力显微镜的纳米加工技术31

3.2.1 硅材料表面上纳米细线结构的刻蚀32

3.2.2　阳极氧化法纳米结构的加工33

3.2.3　用SPM直接对工件进行雕刻加工34

3.3　光学镊子及其微操纵技术34

3.4　分子组装技术35

习题36

参考文献36

第4章　纳米材料学37

4.1　纳米材料的分类37

4.2　纳米颗粒38

4.2.1　纳米颗粒的表面效应39

4.2.2　纳米颗粒的小尺寸效应39

4.2.3　纳米颗粒材料的制备技术40

4.3　纳米薄膜41

4.3.1　纳米薄膜的分类41

4.3.2　纳米薄膜的制备方法42

4.4　纳米块体材料42

4.4.1　纳米块体材料的结构特点42

4.4.2　纳米块体材料的性能43

4.5　原子团簇和碳纳米管43

4.5.1　原子团簇43

4.5.2　碳团簇和C6044

4.5.3　碳纳米管47

4.6　纳米复合材料52

4.6.1　纳米复合材料的分类52

4.6.2　纳米复合材料的应用53

习题60

参考文献60

第5章　纳米电子学62

5.1　概述62

5.2　微电子技术的发展和面临的限制63

5.2.1　微电子技术的发展63

5.2.2　微电子技术发展所面临的障碍64

5.3　纳米电子学的出现与发展65

5.4　纳电子学基本知识66

5.4.1 量子效应66

5.4.2　库仑阻塞和单电子隧穿66

5.5　纳电子器件68

5.5.1　纳电子器件的特征与特性68

5.5.2　量子电系统的基础元件69

5.5.3　纳米级单电子器件70

5.5.4　分子电子器件74

5.5.5　原子电子器件79

5.5.6　量子计算机81

5.6　三代电子器件的对比84

习题85

参考文献85

第6章　纳米生物学87

6.1　纳米生物学的提出与发展87

6.2　生物分子的探测与操纵87

6.2.1　单分子成像87

6.2.2　单分子纳米操纵89

6.2.3　分子间相互作用力的测量90

6.3　生物芯片90

6.3.1　生物芯片概述90

6.3.2　生物芯片的分类90

6.3.3　样品制备型生物芯片91

6.3.4　生化微反应芯片92

6.3.5　检测型生物芯片92

6.3.6　微缩芯片实验室93

6.4　生物传感器95

6.4.1　生物传感器的原理95

6.4.2　生物传感器的种类95

6.5　生物分子计算机96

6.6　生物分子马达99

6.7　生物分子机器人100

习题103

参考文献103

第7章　微细加工技术104

7.1　概述104

7.2　微细切削技术106

7.2.1　微细切削技术基础106

7.2.2　微细车削108

7.2.3　微细铣削110

7.2.4　微细钻削111

7.2.5　微细冲压112

7.2.6　便携式工厂113

7.3　微细特种加工114

7.3.1　微细电火花加工115

7.3.2　微细电解加工117

7.3.3　微细超声加工118

7.3.4　微细激光加工119

7.3.5　电子束加工121

7.3.6　离子束加工122

7.4　光刻技术123

7.4.1　光刻技术的主要工艺内容123

7.4.2　光刻掩膜制作124

7.4.3　光刻中的能量束扫描曝光技术124

7.4.4　光刻工艺中的化学刻蚀技术125

7.5　LIGA技术126

7.5.1 LIGA工艺过程126

7.5.2　LIGA技术的特点127

7.5.3 准LIGA技术127

7.5.4　LIGA技术在微制造中的应用128

7.6　生物制造技术129

7.6.1 微结构和生物组织的生物加工技术130

7.6.2　生物组织的机械制造-生物制造工程131

习题134

参考文献134

第8章　微机械和微机电系统135

8.1　概述135

8.2　微机械和微机电系统的相关基础136

8.2.1　物理参量的微尺寸效应136

8.2.2　微机械中的常用材料136

8.2.3　微机械和微机电系统的技术基础138

8.3　微传感器139

8.3.1　机械量微传感器139

8.3.2　热微传感器142

8.3.3　光微传感器142

8.3.4　化学和电化学微传感器143

8.4　微致动器144

8.4.1　静电型微致动器145

8.4.2 电磁型和磁致伸缩型微致动器146

8.4.3　压电型微致动器146

8.4.4　热变形微致动器148

8.4.5　微机电系统的能源148

8.5　微机器人149

8.5.1　微机器人概述149

8.5.2　微机器人实例150

8.6　微飞行器153

8.6.1　微飞行器概述153

8.6.2　微飞行器实例154

8.7　微型卫星159

8.7.1　微型卫星概述159

8.7.2　微型卫星实例160

习题161

参考文献161