图书介绍
国外测试新技术 晶体中缺陷的X射线貌相术观察PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 中国科学院上海冶金研究所X射线实验室译 著
- 出版社: 上海科学技术情报研究所
- ISBN:
- 出版时间:1974
- 标注页数:191页
- 文件大小:55MB
- 文件页数:195页
- 主题词:
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国外测试新技术 晶体中缺陷的X射线貌相术观察PDF格式电子书版下载
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图书目录
目录1
前言1
X射线貌相术在半导体晶体和器件研究上的应用4
使用由弯曲晶体造成单色发散线束的X射线衍射貌相术的新方法57
利用平行X射线束改善晶体莫尔条纹的可见度63
扫描X射线貌相术的反馈控制方案71
Lang貌相术的电-机械反馈控制78
X射线像的电视显示 I.X射线貌相图80
无位错硅中的空位团94
半导体器件工艺中的硅材料问题97
用X射线貌相术作工艺进程中硅内结构缺陷的测量123
磷进入硅中的反常扩散135
外延生长GaAs中的位错和界面上的面缺陷144
外延磁泡畴柘榴石的X射线双晶貌相术151
X射线貌相术在研究磁畴中的应用158
铌酸锂单晶的X射线貌相研究169
铝中位错的形成和运动的X射线貌相术研究177
人造石英中位错的X射线貌相研究182