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![半导体薄膜光谱学](https://www.shukui.net/cover/59/31273178.jpg)
- 薛晨阳,张文栋等编著 著
- 出版社: 北京:科学出版社
- ISBN:9787030223524
- 出版时间:2008
- 标注页数:219页
- 文件大小:15MB
- 文件页数:227页
- 主题词:半导体膜:薄膜-光谱学-研究
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图书目录
第1章 半导体薄膜及其生长方法1
1.1 半导体薄膜概述1
1.2 半导体薄膜生长方法2
1.2.1 化学气相传输法2
1.2.2 金属有机物化学气相沉积法3
1.2.3 分子束外延法4
1.2.4 外延CuGaSe2生长过程举例6
参考文献9
第2章 电磁辐射理论11
2.1 电磁波的麦克斯韦理论11
2.2 介电函数14
2.2.1 光学常数和Kramers-Kronig关系15
2.2.2 由实验决定的介电函数18
2.3 可见光和近可见光光谱学20
2.3.1 光吸收的量子解释21
2.3.2 半导体激发态的光吸收22
2.3.3 局部态跃迁的吸收27
2.3.4 局部态吸收的理论描述30
参考文献34
第3章 光谱学主要仪器36
3.1 光源36
3.1.1 黑体辐射和气体放电灯36
3.1.2 光谱灯和谱线的形状38
3.1.3 同步加速辐射41
3.1.4 激光辐射源47
3.2 光学器件63
3.2.1 光学基础器件63
3.2.2 分光仪和光谱仪68
3.2.3 干涉仪74
3.3 电磁辐射的检测80
3.3.1 信号与噪声80
3.3.2 光电倍增管81
3.3.3 光电探测器84
参考文献90
第4章 光学表征方法92
4.1 拉曼光谱和显微拉曼光谱95
4.1.1 拉曼散射原理95
4.1.2 拉曼张量和选择定则97
4.1.3 温度效应99
4.1.4 拉曼光谱对应变的表征102
4.1.5 拉曼光谱和微拉曼光谱的实验装置103
4.2 光致发光光谱105
4.2.1 半导体对光的吸收105
4.2.2 光致发光光谱107
4.2.3 半导体材料的光致发光108
4.2.4 激变光致发光光谱和变化激励源光致发光光谱111
4.2.5 光致发光光谱的实验装置112
4.3 调制光反射光谱112
4.3.1 调制光谱和电介质函数112
4.3.2 Franz-Keldysh效应114
4.3.3 低场极限下的光反射光谱117
4.3.4 光反射光谱的应力特征117
4.3.5 调制光反射光谱的实验装置120
4.4 各向异性反射光谱121
4.4.1 偏振光椭圆光谱和各向异性反射光谱121
4.4.2 各向异性反射光谱仪的实验装置123
4.4.3 各向异性反射光谱的应用125
参考文献126
第5章 CuGaSe2薄膜结构中的光学特性研究129
5.1 拉曼光谱实验与分析129
5.1.1 CuGaSe2薄膜的晶格振动129
5.1.2 随组分变化的拉曼模139
5.1.3 拉曼模的温度特性146
5.1.4 富Cu的CuGaSe2薄膜的定位效应150
5.2 CuGaSe2样品的光致发光光谱分析155
5.2.1 富Cu CuGaSe2样品156
5.2.2 富Ga CuGaSe2样品165
5.3 调制光发射光谱的应用167
5.3.1 均匀组分CuGaSe2调制光反射光谱168
5.3.2 随成分变化的调制光反射光谱171
5.3.3 调制光反射光谱的温度特性176
5.4 反射各向异性光谱实验与分析180
5.4.1 GaAs反射各向异性光谱180
5.4.2 CuGaSe2反射各向异性181
5.4.3 RAS和PR光谱的比较185
参考文献186
第6章 拉曼光谱的扩展应用192
6.1 拉曼光谱在MEMS器件应力测试方面的应用192
6.1.1 MEMS器件残余应力测试192
6.1.2 MEMS器件动态应力测试202
6.2 远程拉曼光谱仪在深空探测中的应用208
参考文献211
附录1 基本物理常量和单位换算表213
附录2 专有名词英汉对照215